Placa de polimento de wafer de alumina 99,7% com furo
Características do produto
Alumina de alta pureza, 99,7%-99,9% de alumina.
Alta resistência mecânica, alta resistência ao desgaste, alto isolamento elétrico, alta estabilidade química, boa resistência ao calor e à corrosão. Atualmente, o uso de discos de retificação de cerâmica para a retificação de wafers de silício semicondutores é o método de retificação mais avançado e de ponta. O processo de retificação em ambos os lados é utilizado para retificar o wafer de silício cortado, e a qualidade do wafer retificado é aprimorada pelo aperfeiçoamento do processo de retificação (material do disco, fluido de retificação, pressão e velocidade de retificação, etc.). Em particular, o uso de placas de cerâmica em vez de placas de ferro fundido evita que a retificação da superfície principal do wafer cause marcas ou contaminação, reduz a introdução de íons metálicos, podendo reduzir o processamento subsequente do silício, encurtar o tempo de processamento subsequente (corrosão), melhorar a eficiência da produção e reduzir as perdas no processamento do silício, aumentando significativamente a utilização do silício.
Parâmetros químicos/físicos
| propriedade | |
| Densidade (g/cm3) | 3,94-3,97 |
| Pureza (%) | 99,7-99,9 |
| Dureza Vickers (GPa) | ≥17 |
| Resistência à flexão em três pontos (MPa) | 440-550 |
| Coeficiente de difusão térmica (cm²/s) | 0,0968 |
| Módulo de elasticidade (GPa) | 356 |
Especificações do produto
Disco ou anel de alumina de alta pureza com Φ850mm e espessura de 45mm ou menos (o tamanho pode ser personalizado).
Também podemos produzir cerâmicas de alta qualidade com as seguintes especificações:
1, 1500x600x25mm abaixo da tábua longa, tira, tábua quadrada, folha;
2. Trilhos-guia com dimensões inferiores a 1000x45x45mm;
3, tubo vazio de φ300~600x comprimento de 500mm ou menos, cilindro, tubo de vácuo elétrico, etc.
4. Podemos personalizar uma variedade de formatos e especificações de produtos cerâmicos de alumina de alta pureza.
Vantagens da cerâmica Chemshun
Possuímos direitos de propriedade intelectual independentes sobre o processo de moldagem por autocura PIBM, especializado na produção de componentes cerâmicos finos de alta qualidade. O novo processo supera os problemas de deformação e fissuração de tarugos cerâmicos úmidos de grandes dimensões durante a preparação, e o desempenho do produto é significativamente otimizado em comparação com o de peças cerâmicas de grandes dimensões preparadas por métodos tradicionais.
O disco de polimento de cerâmica de alumina produzido pela Pingxiang Chemshun Ceramics Co., Ltd. adota o processo de moldagem por autocura PIBM. A avançada tecnologia PIBM, reconhecida internacionalmente, solucionou com sucesso o principal problema da deformação por fissuras em alumina de grande diâmetro. A tecnologia cerâmica PIBM abrirá novas perspectivas promissoras para a indústria cerâmica. Além de produzirmos placas de polimento de cerâmica de alumina de alta qualidade, também oferecemos outras séries de cerâmicas de alumina de alta pureza e grandes dimensões, como substratos cerâmicos de 1200*500*20mm para equipamentos de fabricação de LCD, trilhos de transmissão de semicondutores, componentes de vácuo, peças mecânicas em geral e cerâmicas à prova de balas.
