Com o rápido desenvolvimento da indústria de semicondutores, a escala do setor aumentou rapidamente e os equipamentos de fabricação de semicondutores evoluíram em precisão e complexidade. Devido às vantagens da cerâmica, como alta dureza, alto módulo de elasticidade, alta resistência ao desgaste, alto isolamento, resistência à corrosão e baixa expansão, ela pode ser utilizada como componente em máquinas de polimento de silício, equipamentos de tratamento térmico por epitaxia/oxidação/difusão, máquinas de litografia, equipamentos de deposição, equipamentos de gravação de semicondutores, máquinas de implantação iônica e outros equipamentos. Portanto, a pesquisa, o desenvolvimento e a produção de componentes cerâmicos de precisão impactam diretamente o desenvolvimento da indústria de semicondutores. As exigências técnicas para sua fabricação estão cada vez mais rigorosas.
Alumina de alta pureza, 99,7%-99,9% de alumina.
Alta resistência mecânica, alta resistência ao desgaste, alto isolamento elétrico, alta estabilidade química, boa resistência ao calor e à corrosão. Atualmente, o uso de discos de retificação de cerâmica para a retificação de wafers de silício semicondutores é o método de retificação mais avançado e de ponta. O processo de retificação em ambos os lados é utilizado para retificar o wafer de silício cortado, e a qualidade do wafer retificado é aprimorada pelo aperfeiçoamento do processo de retificação (material do disco, fluido de retificação, pressão e velocidade de retificação, etc.). Em particular, o uso de placas de cerâmica em vez de placas de ferro fundido evita que a retificação da superfície principal do wafer cause marcas ou contaminação, reduz a introdução de íons metálicos, podendo reduzir o processamento subsequente do silício, encurtar o tempo de processamento subsequente (corrosão), melhorar a eficiência da produção e reduzir as perdas no processamento do silício, aumentando significativamente a utilização do silício.
Placa de polimento de wafers de alta aluminaÉ utilizado nas indústrias de semicondutores, petróleo, química, fotovoltaica, de cristais líquidos e outras, em componentes como peças mecânicas, componentes eletrônicos, discos de indução de micro-ondas, materiais isolantes e outros componentes, dispositivos semicondutores, equipamentos de vácuo, equipamentos de fabricação de cristais líquidos e outras peças. Cerâmicas de alumina de grande tamanho e alta pureza têm importante valor de aplicação na indústria de safira e na indústria de chips semicondutores. É um suporte e consumível fundamental para o polimento químico-mecânico (CMP) de wafers de safira e silício semicondutor. Cerâmicas de alumina de grande tamanho e alta pureza também podem ser usadas como substrato de alumina para LCD.
Data da publicação: 27/06/2024