Chemshunplaca de polimento de wafer de aluminaA plataforma giratória é feita de alumina de alta pureza (99,7-99,9%). A cerâmica de alumina de alta pureza apresenta rigidez excepcional e excelente resistência ao desgaste para polimento de wafers, mantendo uma boa forma superficial por um longo período. É fabricada pela PIBM. É um componente essencial da indústria de semicondutores devido à sua incomparável estabilidade térmica e dimensional, além da resistência a ambientes severos de equipamentos de processamento de microchips.
A planarização químico-mecânica (CMP), também conhecida como polimento químico-mecânico, é uma tecnologia utilizada no processo de fabricação de dispositivos semicondutores. Ela emprega corrosão química e forças mecânicas para aplainar wafers de silício ou outros materiais de substrato durante o processamento.
O equipamento CMP é dividido principalmente em duas partes: a parte de polimento e a parte de limpeza. A parte de polimento consiste em 4 componentes, nomeadamente 3 mesas giratórias de polimento e um módulo de carga e descarga de wafers. A parte de limpeza é responsável pela limpeza e secagem do wafer, garantindo a secagem completa na entrada e na saída. Em todo o equipamento de polimento, a cerâmica de alumina desempenha um papel fundamental.
A cerâmica de alumina é geralmente utilizada na preparação de discos de polimento de wafers, que exigem alta pureza, alta durabilidade química e bom controle da forma e rugosidade da superfície.
O disco de desbaste cerâmico Chemshun 99,7% Al2O3 é fabricado com materiais cerâmicos avançados, sendo adequado para o desbaste fino de diversos materiais, especialmente materiais frágeis como wafers, cerâmica e vidro. Nosso disco de desbaste cerâmico pode ser fabricado em diferentes tamanhos, de acordo com os diversos modelos de desbaste e polimento.
Data de publicação: 30 de maio de 2025